Automatischer digitaler Spin Coater und Vakuum-Spin Coater für Labor-Spin-Coating
AOT
Xiamen, China
10-25 Werktage
50 Sets/Monat
AOT-VTC-100A ist ein kompakter Spincoater mit Vakuum-Chucks für die einfache und schnelle Sol-Gel-Beschichtung von Wafern bis zu 4 Zoll. Die Rotationsgeschwindigkeit ist variabel von 500 bis 8000 U/min und verfügt über zwei programmierbare Segmente. Das Paket enthält komplettes Zubehör für den sofortigen Einsatz.
Der automatische digitale Spincoater und Vakuum-Spincoater AOT-VTC-100A ist für 4-Zoll-Wafer und unregelmäßige Substrate ausgelegt. Der automatische digitale Spincoater und Vakuum-Spincoater verfügt über eine korrosionsbeständige Flüssigkeitsschale aus Polypropylen und dreistufige Vakuumsauger und unterstützt eine zweistufige programmierbare Drehzahlregelung von 500 bis 8.000 U/min mit einer Genauigkeit von ±1 %. Der automatische digitale Spincoater und Vakuum-Spincoater integriert eine ölfreie Vakuumpumpenschnittstelle und einen einstellbaren Spritzenhalter, geeignet für Sol-Material mit einer Viskosität von 0,5 bis 5.000 cPs, Einzelbeschichtungszeit von 1 bis 60 Sekunden einstellbar. Standardmäßig mit Klebeband und Mikrosaugeroptionen, kompatibel mit unregelmäßigen Substraten von 5 × 5 mm bis 10 × 10 mm, Filmdickengleichmäßigkeit ± 2 %. Maschinengewicht 15 kg, Größe 330 × 254 × 216 mm, Plug-and-Play, um die Anforderungen von Halbleiter-, MEMS- und optischen Dünnschichtlaboren an eine effiziente Beschichtung zu erfüllen.
Parameter
Produktmodell
AOT-VTC-100A
Struktur
Ein Aluminiumgussgehäuse sorgt für eine stabile Drehung
Die Flüssigkeitsscheibe besteht aus Polypropylen (PP), um den meisten korrosiven Lösungen standzuhalten
Der Drainageauslass und der Vakuumpumpenanschluss befinden sich auf der Rückseite
Ein Filter ist im Standardpaket enthalten. Er dient zum Anschluss des Coaters und verhindert, dass Abwasser in die Pumpe gelangt.
Eine ölfreie Vakuumpumpe ist im Standardpaket enthalten. Klicken Sie hier, um die technischen Daten anzuzeigen.
Kammer und Vakuumspannfutter
Kammerdurchmesser: 145 mm
3 Sätze korrosionsbeständiger PP-Vakuumspannfutter mit Spannfutter-O-Ring in verschiedenen Größen (1'', 2'' und 4'')
1 Stück Klebeband (6 Zoll B x 24 Zoll L) ist im Lieferumfang enthalten, um unregelmäßig geformte Substrate zu beschichten (legen Sie beispielsweise das unregelmäßig geformte Substrat auf das Klebeband, dann hält die Vakuum-Spannvorrichtung das Band durch Ansaugen fest).
Mini-Saugnäpfe sind für kleine Wafer mit weniger als 10 mm Durchmesser oder Substrate mit regelmäßigen (5 x 5 oder 10 x 10 mm) oder unregelmäßigen Formen erhältlich. Klicken Sie hier, um zu bestellen. Gegen Aufpreis (siehe Abbildung unten rechts).
Vakuumpumpe (nicht im Lieferumfang enthalten)
Ab dem 07.09.2022 ist die ölfreie Vakuumpumpe mit 120 l/min nicht im Lieferumfang enthalten.
Für den sofortigen Gebrauch ist ein Vakuum-Gummischlauch im Lieferumfang enthalten.
Schleuderdrehzahl und -zeit
Digitales Bedienfeld mit ZWEI programmierbaren Segmenten für unterschiedliche Schleuderzeiten und Geschwindigkeiten
Schleudergeschwindigkeit: 500 - 8000 U/min
Drehzeit: 1 - 60 s
Flüssigkeitseinspritzung
Zur Aufnahme des Beschichtungsmaterials wird eine 20-ml-Spritze verwendet
Die Höhe des Spritzenhalters kann eingestellt und entlang der Stützstange frei gedreht werden
Vakuumpumpe: 110 VAC oder 220 VAC, bitte wählen Sie die Spannung in der Optionsleiste (10 A-Sicherung)
Motorleistung
24-V-Gleichstrommotor mit 150 W max.
Produktabmessung
330,2 mm (L) x 254 mm (B) x 215,9 mm (H)
Gewicht
15 kg
Produktpräsentation
Automatischer digitaler Spin Coater und Vakuum-Spin Coater für Labor-Spin-Coating
AOT-VTC-100A, automatischer digitaler Spincoater und Vakuum-Spincoater, speziell für 4-Zoll-Wafer, 500–8000 U/min, zweistufige Programmierung, korrosionsbeständige PP-Vakuumsauger, kompatibel mit Sol-Gel-Beschichtung auf unregelmäßigen Substraten, hochpräzise Filmdickenkontrolle in Laborqualität, kompaktes Plug-and-Play-Design.
Ausstellung
AOT Die Ausstellung für Lithiumbatterieausrüstung bietet Ausstellern und Besuchern eine umfassende Plattform für Präsentation, Austausch, Zusammenarbeit und Handel. Durch die Teilnahme an der Ausstellung können Unternehmen die Branchendynamik verstehen, Marktkanäle erweitern, ihr Markenimage verbessern und technologische Innovationen und die Modernisierung der Industrie fördern.
Zertifikat
Kooperationspartner
Häufig gestellte Fragen
F1: Wie passe ich ein Substrat mit 3" oder einer nicht standardmäßigen Größe an?
A: Verwenden Sie das Standardklebeband, um das Substrat an einem 4-Zoll-Saugnapf oder optional an kundenspezifischen Miniatur-Saugnäpfen (5 x 5 mm bis 10 x 10 mm) zu befestigen, um die Beschichtungsstabilität durch Vakuumbefestigung zu gewährleisten.
F2: Wie funktioniert die ölfreie Vakuumpumpe, wenn der kompakte Spincoater nicht im Lieferumfang enthalten ist?
A: Eine kompatible Vakuumpumpe (empfohlene Durchflussrate ≥ 120 l/min) sollte zusätzlich erworben und über die Schnittstelle auf der Rückseite des Geräts angeschlossen werden, um sicherzustellen, dass der Vakuumpegel > -80 kPa beträgt, um eine stabile Adsorption des Substrats zu gewährleisten.
F3: Ist der kompakte Spincoater für Sole mit hoher Viskosität (>5000cPs) geeignet?
A: Beim kompakten Spincoater wird empfohlen, die Rotationsgeschwindigkeit auf 500–2000 U/min zu reduzieren und die Beschichtungszeit auf über 30 Sekunden zu verlängern. Bei Bedarf sollte das Sol auf 25–30 °C vorgewärmt werden, um die Fließfähigkeit zu verbessern.
F4: Wie reinigt man die PP-Schale, um eine Kreuzkontamination zu vermeiden?
A: Spülen Sie die Beschichtung sofort nach dem Auftragen mit deionisiertem Wasser ab. Reinigen Sie organische Lösungsmittelsysteme fünf Minuten lang mit Ethanol und Ultraschall. Verwenden Sie zum Abwischen keine starken Säuren oder Basen.
F5: Kann der Spritzenhalter auf die Größe 50 ml angepasst werden?
A: Der Standardhalter unterstützt 20-ml-Spritzen. Für größere Volumina kann die Höhe des Halters manuell eingestellt und fixiert werden. Es wird empfohlen, die Flüssigkeit in kleinen Portionen zu injizieren, um eine gleichmäßige Beschichtung zu gewährleisten.
